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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):2l路質(zhì)量流量計(jì)

  • 產(chǎn)品型號(hào):TN-2Z
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
產(chǎn)品特點(diǎn):1.選擇多種氣體方式;2.304不銹鋼管芯,耐腐蝕;3.不銹鋼雙卡快速接頭,連接方便,無(wú)泄漏
詳情介紹:

○ 適用范圍
1.半導(dǎo)體制造業(yè)
2.真空鍍膜設(shè)備
3.特殊材料表面處理
4.燃?xì)饪刂?/span>
5.泄漏檢測(cè)系統(tǒng)
6.環(huán)境檢測(cè)分析設(shè)備
7.化學(xué),石化,冶金,光纖等 

 

○ 產(chǎn)品特點(diǎn)
1.選擇多種氣體方式
2.304不銹鋼管芯,耐腐蝕
3.不銹鋼雙卡快速接頭,連接方便,無(wú)泄漏


○ 技術(shù)參數(shù)

功能

兩路質(zhì)量流量計(jì)

質(zhì)子流量控制器

工作溫度:5~45 oC; 較大壓力: 3x106 Pa; 精度: ±1.5% FS; 重復(fù)精度: ±0.2%F.S.;
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM  ; 二路: 1~199 SCCM 
注意:其他流量范圍的可定制,需額外費(fèi)用

輸入電源

AC 220V/50Hz單相

功率

150W

機(jī)械壓力表

有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上,與混氣罐相連接;量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

針閥

316 不銹鋼

通氣管道

內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管 ;外部通氣管道為1/4”聚四氟管 

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥及配件

316不銹鋼針閥 ;Φ1/4” 不銹鋼管

外形尺寸

600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終身維護(hù)


○ 免責(zé)聲明

本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等),僅供參考。泰諾公司產(chǎn)品在不斷更新,網(wǎng)站內(nèi)容可能由于更新不及時(shí),或許導(dǎo)致所述內(nèi)容與實(shí)際情況存在一定的差異,請(qǐng)與本公司銷(xiāo)售人員聯(lián)系確認(rèn)。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,泰諾公司會(huì)不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知。

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