本設(shè)備為多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀，設(shè)備采用前開(kāi)門(mén)式真空腔體設(shè)計(jì)，腔體空間大，可拓展性強(qiáng)，能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發(fā)鍍膜。腔體內(nèi)配有上置樣品臺(tái)，可根據(jù)用戶(hù)樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)、加熱及升降，所有操作均通過(guò)觸控屏集成控制。設(shè)備的真空泵組為兩級(jí)式真空系統(tǒng)，由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成，可為真空鍍膜試驗(yàn)提供清潔無(wú)油的高真空的環(huán)境；真空系統(tǒng)內(nèi)含有完善的氣動(dòng)閥系統(tǒng)，用戶(hù)可通過(guò)觸控屏進(jìn)行一鍵式操作實(shí)現(xiàn)抽取真空、不停機(jī)取放樣、完全停機(jī)等操作。

本設(shè)備的蒸發(fā)源共兩組，采取鎢舟蒸發(fā)源，水冷式銅電極，可*大支持300A的大電流，加熱溫度*高可達(dá)3000℃，可實(shí)現(xiàn)多種難熔金屬的蒸鍍。本設(shè)備采用一體化設(shè)計(jì)，腔體和電控部分左右分置，實(shí)現(xiàn)了水電分離，有力的保證了用戶(hù)的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結(jié)合的設(shè)計(jì)，真空系統(tǒng)、樣品臺(tái)等輔助功能通過(guò)觸控屏一鍵操作，通電蒸發(fā)、膜厚控制等通過(guò)面板獨(dú)立操作，在盡可能方便用戶(hù)的同時(shí)規(guī)避了誤操作的可能。該設(shè)備設(shè)計(jì)完善性能優(yōu)越，是實(shí)驗(yàn)室高精度蒸發(fā)鍍膜試驗(yàn)的必備之選。

名稱(chēng)	多源高真空蒸發(fā)鍍膜儀
特點(diǎn)	蒸發(fā)源共兩組， 采取鎢舟蒸發(fā)源，加熱溫度*高可達(dá)3000℃，可實(shí)現(xiàn)多種難熔金屬的蒸鍍 腔體和電控部分左右分置，實(shí)現(xiàn)了水電分離 真空系統(tǒng)、樣品臺(tái)等輔助功能通過(guò)觸控屏一鍵操作 通電蒸發(fā)、膜厚控制等通過(guò)面板獨(dú)立操作
技術(shù)參數(shù)	樣品臺(tái)： *大支持φ150mm樣品 高度 上下70mm可調(diào) 蒸發(fā)源： 鎢舟x2  真空腔體： 腔體材料 304不銹鋼，尺寸 φ300x400mm 觀察窗口 前置φ100mm含遮光片，開(kāi)啟方式 前開(kāi)門(mén)式 膜厚控制：晶振式膜厚測(cè)量?jī)x，可選多通道膜厚控制儀 真空系統(tǒng)： 前級(jí)泵 雙極旋片泵 抽氣接口 KF16 次級(jí)泵 渦輪分子泵 抽氣接口 CF160 真空測(cè)量 電阻+電離 復(fù)合真空規(guī)                  排氣速率 機(jī)械泵1.1L/s， 分子泵 600L/s； 抽氣速率 旋片泵：1.1L/S  極限真空 1.0E-5Pa   供電電源 AC 220V 50/60Hz 流量計(jì)：一路質(zhì)量流量計(jì) 500sccm Ar氣 控制系統(tǒng)： PLC自動(dòng)控制 操作界面：觸控屏+操作面板
規(guī)格	供電電壓 AC380V,50Hz 整機(jī)功率 5kW 整機(jī)重量 350kg 整機(jī)尺寸 1000mm X 800mm X 1500mm