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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:5L等離子清洗機(jī)電容耦合

  • 產(chǎn)品型號:
  • 產(chǎn)品廠商:其它品牌
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
等離子清洗機(jī)(plasma cleaner),是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果,
詳情介紹:

等離子清洗機(jī)(plasma cleaner),是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的

5L等離子清洗機(jī) 電容耦特點(diǎn):

腔體可利用面積大,起輝均勻,可清洗6英寸硅片。

5L等離子清洗機(jī)電容耦合技術(shù)參數(shù):

主要部件

指標(biāo)名稱

參數(shù)指標(biāo)

清洗倉體

清洗倉材質(zhì)

SS304

清洗倉尺寸

200x160x240mm

耦合方式

電容耦合

電源特性

該電源為全固態(tài)射頻電源,采用高穩(wěn)定高可靠的功放模塊和直流模塊,有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質(zhì)量的電子元器件,使產(chǎn)品的可靠性得以保證。

電源優(yōu)勢

●可長時(shí)間正常運(yùn)行
● 操作簡單靈活

● 電源效率高、發(fā)熱少
● 具有完善的反射功率保護(hù)功能

射頻功率

0~300W連續(xù)可調(diào)

信號頻率

13.56MHz ±0.005%

反射功率

100W

功率穩(wěn)定度

±0.1%

射頻接頭

N型頭

整機(jī)效率

75%

諧波分量

-50 dBc

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng)冷

測量部件

兩路質(zhì)量流量計(jì) Ar 0~200sccm; O2 0~200sccm 可定制

其他參數(shù)參考之前的產(chǎn)品

氣體通道

兩通道

A通道量程

10100ml

B通道量程

16160ml

真空測量

數(shù)字真空計(jì)(電阻規(guī))

真空抽取

雙極旋片泵

電機(jī)轉(zhuǎn)速

50Hz時(shí)為:1440;60Hz時(shí)為:1720。

抽氣速率

50Hz時(shí)為:240L/Min;60Hz時(shí)為:288L/Min

真空量程

0.1Pa10000Pa

極限真空

0.5Pa

電機(jī)噪音

56dB

管道接口

進(jìn)氣口:KF16;排氣口KF16.

連接管道

KF16真空波紋管

真空閥門

KF16球閥

電機(jī)功率

400W

供電電源

AC220V 50/60Hz

整機(jī)功率

800W

使用溫度

-10 -- 40

工作真空

40Pa

整機(jī)尺寸

600mmX650mmX560mm

整機(jī)重量

80kg(含包裝)


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